Abstract FR:

Les guides d'ondes plans sont l'élément de base de tout circuit optique intégré. L'étude de leurs propriétés optiques et électrooptiques permet l'optimisation de leurs performances. Dans cet esprit la réalisation d'un banc de mesure automatisé utilisant la spectroscopie des lignes noires (m-lines) a fait l'objet de notre travail. La spectroscopie m-lines consiste à utiliser le couplage par prisme pour exciter les modes guides de la structure considérée. Le spectre modal permet la détermination des profils d'indices et l'épaisseur du guide. Pour la mise au point du dispositif, nous avons utilisé des guides de LiNbO3 fabriqués par implantation de H+ et He+. La technique d'implantation s'est récemment développée et devient de plus en plus une alternative très intéressante comparée aux autres méthodes couramment employées. D'autre part, nous avons développé une nouvelle méthode pour mesurer le coefficient d'atténuation de ces structures guidantes. Elle est basée sur l'injection contrôlée de la lumière dans le guide en utilisant un prisme mobile, et la mesure de l'intensité transmise par la tranche du cristal. Les résultats obtenus dans des guides de LiNbO3 implantés H+ et He+ non recuits montrent des pertes de l'ordre de 2 dB. Cm-1 environ. Au cours de ce travail nous avons également réalisé des guides d'ondes dans le LTB (Li2B4O7) par implantation d'He+. Les résultats obtenus constituent une première et montrent une excellente qualité optique des guides. Les pertes mesurées sont de l'ordre de 1. 5 dB. Cm-1. Pour la caractérisation électrooptique nous avons utilisé la technique du déplacement angulaire des modes guides dû à l'application d'un champ électrique. En effet, une variation d'indice par effet EO induit un déplacement du spectre modal qui permet de remonter aux coefficients EO du guide. Les coefficients r13 et r33 de guides en LiNbO3 implantes H+, ainsi mesurés, ne semblent pas être affectés par l'implantation. De plus une étude réalisée sur le même matériau en fonction de la dose des protons implantes confirme ce résultat et montre l'indépendance des propriétés EO de ces guides de la dose implantée