Abstract FR:

La reflectometrie des rayons x sous incidence rasante permet la caracterisation des surfaces et interfaces de facon non destructive et avec des conditions experimentales simples sur une grande variete de surfaces industrielles. La composante speculaire obeissant aux lois de descartes permet de determiner les epaisseurs et les rugosites r. M. S. D'un systeme de couches minces deposees sur un substrat tandis que la composante non speculaire permet de caracteriser la topologie de la surface. L'identification parametrique par optimisation du modele direct permet la resolution du probleme inverse mais il faut une idee assez precise du systeme de telle sorte que l'optimisation converge. L'application de la transformee de fourier sur la courbe experimentale correctement ponderee permet d'extraire les epaisseurs des couches deposees mais a aussi de nombreuses limitations. Ce travail decrit comment les representations temps - frequence, dans le prolongement de la transformee de fourier, permettent d'obtenir des informations complementaires sur le systeme a caracteriser. Entre autres representations, le scalogramme (module carre d'une transformee en ondelettes) se revele etre un outil supplementaire pour l'analyse des systemes de couches minces deposees sur un substrat. Pour ce qui est de la composante non speculaire, le probleme est assez similaire. Ce travail montre comment la transformee en cosinus discrete permet de mettre en uvre le calcul d'une courbe de reflectivite non speculaire moyennant un modele fractal de topologie et partant, le probleme inverse se trouve resolu par optimisation du modele direct. La transformee en cosinus direct permet egalement d'extraire les caracteristiques de la topologie de surface directement a partir de la courbe de reflectivite experimentale sans qu'il soit besoin de faire quelque hypothese sur la topologie de surface. Ces methodes sont validees sur des courbes experimentales et commentees pour en cerner les contours et les limites.