Abstract FR:

Nous avons concu, realise et utilise trois instruments de microscopie optique destines a caracteriser ou controler la fabrication des meilleurs composants optiques aujourd'hui disponibles en nous efforcant d'ameliorer les resolutions longitudinale d'une part et transversale d'autre part. Le premier montage decrit un profilometre differentiel a polarisation et a modulation de phase dont les performances se situent dans la gamme picometrique. La cadence de travail de ce type d'appareil a ete considerablement accrue par un multiplexage spatial d'un type nouveau (brevet cnrs) qui a ete teste avec succes sur un second profilometre. Un systeme optique en champ proche d'un type nouveau a demontre un gain en resolution transversale d'un ordre de grandeur, il est base sur la perturbation periodique du champ au voisinage de la surface d'un echantillon