Abstract FR:

La pulverisation d'une cible metallique dans une atmosphere reactive engendre generalement une instabilite des parametres de depots qui se manifeste par un phenomene d'hysteresis. Dependante avant tout de facteurs intrinseques au materiau elabore, cette zone de transition presente egalement d'etroites correlations avec les conditions experimentales. En se basant sur une modelisation decrite et largement reprise dans la litterature, l'etude theorique des couples ti - o#2 et cr - o#2 montre que ces systemes produisent une zone instable d'allure globale similaire. Une confrontation avec les resultats pratiques montre pourtant certaines differences probablement causees par la nature du materiau et par certaines hypotheses posees lors de la modelisation. Une comparaison entre la pulverisation d. C. Et r. F. Montre aussi que le type de polarisation influence fortement les instabilites du procede reactif. L'analyse des proprietes des films est egalement abordee conduisant alors a d'evidentes relations avec les parametres experimentaux. La mise en oeuvre de deux plasmas decouples est utilisee pour preparer des multicouches titane chrome. Un developpement theorique est propose de maniere a determiner la periodicite des alternances metal - metal. L'introduction de l'oxygene conduit alors a l'interrogation : une ou deux hysteresis ? un essai de modelisation tente de repondre a cette question et permet d'entrevoir les comportements inattendus et les nouvelles potentialites de la pulverisation reactive multicible.