Abstract FR:

Nous avons developpe des simulations de monte-carlo adaptees a la simulation de la croissance granulaire. Elles incluent la diffusion des atomes, la diffusion des agregats. La presence de defauts, et la coalescence des agregats. A l'aide de ces simulations, nous avons etabli de maniere precise les lois de la croissance par gouttelettes, lorsque les atomes ne diffusent pas et que la coalescence entre agregats est instantanee. Nous avons etudie les lois d'echelles au voisinage de la percolation verifiees par une croissance lors de laquelle la nucleation est homogene et les agregats immobiles. Nous avons defini une epaisseur de transition entre croissance et percolation, qui est l'epaisseur a laquelle les ilots sont composes en moyenne de deux agregats en train de coalescer. Cette epaisseur suit une loi d'echelle en fonction de la vitesse de depot. Le coefficient d'echelle vaut 0,16 si les agregats ne peuvent pas coalescer et 0,29 si la coalescence est importante ; il varie continument entre 0,16 et 0,29 en fonction de la vitesse de coalescence des agregats. Les lois d'echelle verifies par cette epaisseur de transition peuvent etre etendues a l'epaisseur de percolation. Nous avons etudie par microscopie electronique en transmission la croissance par depot d'atomes d'agregats de au et de co sur alumine amorphe, par evaporation et par pulverisation cathodique. Nous avons compare les images obtenues a des simulations. Nous avons montre que la nucleation se fait sur defauts, mais que les agregats se detachent des defauts a partir d'une certaine taille. On observe lors de la croissance un manque de matiere et un retard a la nucleation. Nous l'expliquons par la presence d'une grande densite de defauts capables de bloquer les atomes mais dont les agregats peuvent se detacher alors qu'ils ont une taille inferieure a la limite de resolution du microscope (1 nm).