Abstract FR:

Les differents aspects de ce travail concernent l'etude des materiaux geo#x (x compris entre 1,40 et 2,05) et ge-pb-o sous forme de couches minces sont: l'elaboration des depots par la technique de pulverisation cathodique rf; l'analyse des materiaux par spectrometrie rbs et xrf; leur caracterisation structurale par diffraction x, exafs et spectroscopie d'absorption infrarouge; la mesure de l'epaisseur et de l'indice de refraction des couches minces par interferometrie ainsi que la determination de leur masse volumique; l'etude des caracteristiques dielectriques de ces differents materiaux. L'analyse des depots a permis de determiner les conditions de pulverisation favorables a l'obtention de couches minces geo#2 et d'oxydes mixtes de germanium et de plomb gepb#xo#2#+#x correspondant aux degres d'oxydation les plus stables pour ge et pb. Les principales caracteristiques dielectriques des oxydes geo#2 et gepb#xo#2#+#x (x compris entre 0 et 1,40) sous forme de couches minces amorphes sont mesurees a basse frequence (0,5-100 khz) sur l'intervalle de temperature 20-70c. Ce travail montre l'interet des materiaux etudies pour la realisation de condensation a forte capacite surfacique et a faibles pertes dielectriques utilisables dans des dispositifs electroniques miniaturises