Abstract FR:

La limite de resolution en microscopie optique a eclairage partiellement coherent peut etre considerablement ameliore en combinant, pour restaurer l'objet, l'information a priori disponible avec les images experimentales digitalisees. La premiere partie presente les traitements prealables de l'image, lies a cette information a priori: digitalisation, symetrisation si le modele de l'image est symetrique, acquisition de plusieurs images d'un meme objet. Dans la deuxieme partie, on dispose d'un modele complet de l'objet et de l'image associee. Le modele developpe concerne les traits epais sur circuits integres. On montre comment remonter aux parametres dimensionnels caracterisant ces traits par comparaison du modele aux images experimentales, puis on evalue la precision accessible sur ces parametres. L'information a priori est, dans la troisieme partie, une limitation du support spatial de l'objet. Ce support est de l'ordre du micrometre. Il est alors possible de discretiser les equations du transfert bilineaire. Ce formalisme permet de restaurer un objet de phase et d'amplitude a partir de deux images differemment focalisees