thesis
Proprietes electriques des couches ultra-minces de silice thermique et influence des parametres technologiques
Institution:
Toulouse 3Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
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Abstract FR:
L'etude est faite sur des couches d'epaisseur inferieure a 100 a. Une synthese bibliographique fait apparaitre de nouveaux problemes poses par les couches de silices ultraminces et les insuffisances d'une modelisation macroscopique des mecanismes de croissance ou des proprietes electriques. Les mecanismes physiques de conduction et de degradation dans ces materiaux sont traites