Abstract FR:

La sonde tomographique permet la reconstruction en 3D d'un petit élément de volume (10 x 10 x 100 nm3) d'un matériau métallique. Ce manuscrit retrace les étapes de la reconstruction, atome par atome, du volume analysé depuis le départ de l'ion de la surface de l'échantillon jusqu'à sa localisation finale au sein du volume reconstruit. Les ions sont évaporés par effet de champ. Leur nature est déterminée par spectrométrie de masse à temps de vol. La modification de la procédure d'identification des ions permet d'affiner le pied des pics des spectres de masse. La position du point d'impact sur le détecteur est le barycentre du nuage électronique issu de galettes de microcanaux et frappant le réseau de 10 x 10 anodes indépendantes. Le point de fonctionnement du détecteur détermine l'extension spatiale du nuage. Il est choisi de manière à optimiser le nombre d'impacts localisés. L'importance d'un calibrage des canaux de mesures de charges est mise en évidence. Les impacts simultanés ayant des positions proches créent des nuages de charges qui se recouvrent. L'influence de ces recouvrements sur les données de sonde tomographique est analysée. La mise au point de procédures de détection spécifiques met en évidence la présence de 10 à 20% de recouvrements dans les analyses de sonde tomographique. La procédure de calcul des positions est généralisée aux impacts doubles. La procédure de reconstruction 3D du volume analysé à partir des impacts détectés est étendue à tout site d'analyse. La relation de projection émetteur-détecteur est définie en fonction de la forme de la surface de l'échantillon. La restitution de la profondeur, calculée à partir du nombre d'impacts détectés, est corrigée en fonction de l'angle d'inclinaison de la pointe par rapport à l'axe du détecteur.