Etude d'un microscope optique a sonde locale en reflexion. Realisation et caracterisation des sondes utilisees
Institution:
BesançonDisciplines:
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Abstract FR:
Le but de notre etude est la realisation d'un systeme en reflexion appele scaning near-field optical microscope, ou la sonde utilisee joue simultanement le role de source et de detecteur. Les ondes evanescentes issues de la diffraction de l'onde incidente par les details de dimension inferieure a la demi-longueur d'onde interagissent avec un stylet dielectrique place aux abords de la surface et sont converties en ondes propagatives. Nous presentons une methode de fabrication de ce type de detecteurs dont la forme et les dimensions influent considerablement sur la resolution. Une methode de simulation basee sur la theorie du couplage de mode, nous permet de faire une premiere estimation de l'intensite guidee a l'interieur de diedres. Les resultats experimentaux attestent de deux modes de fonctionnement de notre systeme, qui sont fonction de la distance separant l'objet de la sonde. Si cette quantite est inferieure typiquement a /4, le snom s'apparente a un microscope superresolvant, sinon il peut etre considere comme une alternative aux profilometres conventionnels