Abstract FR:

De conception originale, le gyrometre acoustique mono-axe est un capteur de vitesse angulaire dont le principe de fonctionnement repose sur le couplage inertiel de deux modes orthogonaux d'une cavite close remplie de gaz. L'element sensible comprend une cavite acoustique resonante, et un jeu de quatre transducteurs electro-acoustiques capacitifs : un haut-parleur pour generer une onde acoustique, un microphone pour asservir la cavite a sa frequence de resonance et deux autres microphones pour mesurer le signal couple a la rotation. Le travail effectue a l'esiee porte sur l'integration de l'element sensible notamment pour la cavite miniature, l'assemblage collectif des differents substrats et l'augmentation de la sensibilite mecanique des microphones. La conception et la realisation d'electronique de commande et de traitement permettent de valider le fonctionnement du gyrometre acoustique integre, meme si celui-ci n'atteint pas encore la sensibilite souhaitee. Des etudes acoustiques, mecaniques et electriques de chacun des elements du capteur (cavite, transducteurs electro-acoustiques et electronique) conduisent a l'elaboration d'un modele comportemental qui prend en compte les phenomenes de couplage entre les differents composants. Ce modele fournit une description globale du micro-systeme et permet d'optimiser le dimensionnement du senseur. Son faible encombrement, sa robustesse, son procede de fabrication collectif compatible avec des technologies micro-electroniques industrielles font du gyrometre acoustique un concurrent competitif sur le marche de l'automobile.