Modélisation d'un transducteur interdigité annulaire à couche mince focalisant dans un solide
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Le HavreDisciplines:
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Au début (chapitres I et II), nous établissons les expressions, puis les solutions, des équations d'état et de mouvement en coordonnées cylindriques dans les 3 milieux constitutifs (vide, couche mince piézoélectrique et substrat amorphe). Ensuite (chapitre III), nous recherchons une solution approchée au problème de l'excitation d'ondes de volume par des électrodes annulaires interdigitales déposées à l'interface couche/substrat. A l'aide de la fonction effective diélectrique, nous obtenons un système linéaire dont la résolution conduit à la connaissance de la densité de charge sur les doigts, du potentiel, des vibrations mécaniques, du flux d'énergie et de l'admittance électrique du transducteur. Dans la dernière partie (chapitres IV et V), nous montrons que l'admittance du transducteur est importante dans les deux zones de fréquences. L'onde transversale, seule, focalise dans la zone de basses fréquences. Aux fréquences élevées les deux types d'ondes (longitudinale et transversale) focalisent à des cotes bien différentes. Une étude systématique montre l'influence de différents paramètres du transducteur (rayon intérieur, épaisseur de la couche, nombre et espacement des électrodes et fréquence d'excitation) sur la qualité de la focalisation dans les deux zones observées