thesis

Production de faisceaux de rayons-X submicroniques par guide d'onde en couches minces

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Jan. 1, 1999

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Dans cette these on decrit une nouvelle technique utilisant un guide d'onde pour rayons x pour produire un faisceau de dimension submicronique et on presente les proprietes du faisceau autant que un certain nombre d'applications possibles. Le premier chapitre est dedie a une presentation des techniques traditionnelles de production de faisceaux submicroniques. Dans le chapitre ii on presente de facon generale le sujet des ondes stationnaires et la resonance qui se forment dans une couche de materiel leger depose entre deux couches de materiel plus lourd. La resonance produit un faisceau submicronique dont on a mesure les caracteristiques : dimensions geometriques, divergence et coherence. Les performances de la guide d'onde sont aussi discutees avec un regard particulier pour le flux, l'efficience et le gain du systeme et pour les elements qui deteriorent les performances memes. On conclut le chapitre avec une comparaison entre les performances de la guide d'onde et d'autres systemes optiques. Dans le troisieme chapitre on traite la technique du contraste de phase pour l'imagerie a haute resolution. Apres une introduction generale sur cette technique, on presente des mesures de formation d'images par contraste de phase obtenues avec le faisceau submicronique sortant d'une guide d'onde pour rayons x. En ce cas un role tres important est joue par l'agrandissement de l'image due a la divergence angulaire du faisceau, qui permet de se passer de la resolution du detecteur. La comparaison des resultats des mesures faites sur un test pattern avec des simulations numeriques montre qu'une resolution de 0. 1 micron peut etre obtenue. On montre aussi que les donnees experimentales de l'image defocalise peuvent etre elaborees numeriquement pour reconstruire une image reelle de l'objet comparable a celle obtenue avec le microscope electronique.