Abstract FR:

L'objectif de ce travail est de resoudre les problemes de quantification des multicouches par profil auger, en prenant en compte les phenomenes perturbateurs lies au decapage ionique. L'integration de plus en plus importante des dispositifs constituant les memoires, necessite une evolution constante des techniques d'analyses. La caracterisation des echantillons doit etre precise et rapide afin de subvenir aux imperatifs de production. Cette etude montre l'importance des conditions experimentales de l'erosion ionique ou, le rendement de pulverisation peut etre utilise comme critere d'optimisation. En approfondissant les evolutions du rendement de pulverisation en fonction des differents parametres experimentaux (nature, energie, incidence des ions et nature de l'echantillon), une representation parametrique decrivant sa dependance angulaire est proposee. Cette relation valable dans un vaste domaine d'applications, est l'aboutissement d'une reflexion sur les phenomenes physiques rencontres lors d'un bombardement ionique. En exploitant le travail lie a l'erosion ionique et les phenomenes d'emission electronique, deux applications des profils auger sont ensuite etudiees. Cette partie pratique expose des routines de travail permettant de deduire les epaisseurs de couches ainsi que la stoechiometrie d'un echantillon. Les resultats encourageant obtenus pour ces deux applications montrent qu'il est souvent indispensable de coupler deux types d'analyses pour mener a bien une etude. Dans le cas present, les couples de mesures auger / afm et auger / rbs ont ete exploite respectivement pour les analyses d'epaisseur de couches et de stoechiometrie.