thesis

Analyses quantitatives par sem/ebic des defauts recombinants dans les semiconducteurs polycristallins : influence des traitements thermiques sur l'activite electrique des bicristaux de silicium

Defense date:

Jan. 1, 1988

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Institution:

Caen

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Abstract FR:

Etude quantitative , par la methode ebic, de la recombinaison des porteurs minoritaires dans des bicristaux de silicium en fonction des traitements thermiques, entre 450 et 950**(o)c. Un developpement des phenomenes physiques regissant la creation de differentes theories conduisant au traitement quantitatif du signal ebic est presente. Selon le traitement thermique, le contraste des deux types de joints de grains evolue avec la temperature: vitese de recombinaison et longueur de diffusion varient avec la temperature de recuit