thesis

Couches minces diélectriques à faible et très faible permittivité destinées aux interconnexions des circuits intégrés : élaboration - caractérisation - intégration

Defense date:

Jan. 1, 2003

Edit

Institution:

Montpellier 2

Disciplines:

Materials chemistry

Authors:

Directors:

Abstract EN:

Pas de résumé disponible.

Abstract FR:

Pas de résumé disponible.