thesis
Etude des proprietes et structure des couches minces de silicium deposees par decomposition thermique de silane
Institution:
Paris 6Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
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Abstract FR:
La taille des grains, la texture, la morphologie de surface, la conductivite electrique et l'absorption optique sont etudies en fonction des parametres de depot. L'optimum des proprietes de transport des couches polycristallines est lie a un regime de cristallisation en phase solide. Etude du processus de cristallisation, effet d'impuretes dopantes. On met en evidence l'effet des liaisons disponibles et de leur etat de charge sur le mecanisme des cristallisation