thesis

Etude des proprietes et structure des couches minces de silicium deposees par decomposition thermique de silane

Defense date:

Jan. 1, 1987

Edit

Institution:

Paris 6

Disciplines:

Authors:

Directors:

Abstract EN:

Pas de résumé disponible.

Abstract FR:

La taille des grains, la texture, la morphologie de surface, la conductivite electrique et l'absorption optique sont etudies en fonction des parametres de depot. L'optimum des proprietes de transport des couches polycristallines est lie a un regime de cristallisation en phase solide. Etude du processus de cristallisation, effet d'impuretes dopantes. On met en evidence l'effet des liaisons disponibles et de leur etat de charge sur le mecanisme des cristallisation