Abstract FR:

Obtention par une procede en deux etapes: depot, sur des substrats monocristallins des produits pulverises par le bombardement d'une cible de yig polycristalline stchiometrique par un faisceau d'ions ar energetique issu d'une source kaufman puis recuit sous oxygene au-dessus de 750#oc. Etude de la dependance de l'angle d'ejection, de l'energie et de l'incidence des ions sur la composition de la couche mince