Elaboration par PECVD et caractérisation de membranes polysiloxanes plasma pour la perméation gazeuse
Institution:
Montpellier 2Disciplines:
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A l'heure actuelle, un travail considerable est mene dans les laboratoires de recherche pour ameliorer la rentabilite des procedes de permeation gazeuse existants. Un des axes d'amelioration possibles est la mise au point de membranes presentant des performances de separation optimales. Le procede de polymerisation plasma est une technique tres performante pour l'elaboration de films polymeres denses, tres minces, et fortement reticules. L'utilisation de monomeres organosiloxanes permet de synthetiser des films polysiloxanes plasma qui sont des materiaux prometteurs pour une utilisation en separation gazeuse. En effet, la flexibilite de la liaison siloxane et la faible epaisseur caracterisant ces films leur conferent une grande capacite de flux transmembranaire ; ces polymeres presentent en outre des selectivites elevees du fait de leur forte densite de chaines. Dans cette etude, des membranes polysiloxanes plasma ont ete elaborees a partir de differents monomeres organosilicies (lineaires ou cycliques) dans un reacteur plasma basse-frequence. Diverses methodes analytiques ont ete utilisees pour caracteriser la structure des membranes. Les proprietes de transport gazeux de ces membranes ont ete determinees pour differents gaz permanents (n 2, o 2, h 2, he, ch 4, co 2). Enfin, la mise en uvre de plans d'experiences nous a permis de modeliser les relations parametres plasma/structure/proprietes caracterisant notre procede. La caracterisation physico-chimique des films polysiloxanes plasma montre qu'il est possible d'elaborer une large gamme de materiaux de structures variees, proches des polymeres conventionnels de type silicone ou similaires a de la silice amorphe, selon le caractere plus ou moins energetique du plasma mis