Abstract FR:

Le systeme chimique heterogene zrcl#4-bcl#3-h#2 a ete etudie aussi bien du point de vue theorique qu'experimental. Il a ete aborde par une etude thermodynamique previsionnelle et des diagrammes theoriques de depot de la phase solide ont ete etablis. L'etude experimentale realisee par c. V. D. Sous pression reduite, assortie des caracterisations necessaires des solides deposes, a permis d'etablir un diagramme de depot qui concorde bien avec le diagramme theorique. Cette etude met principalement en evidence l'influence des parametres operatoires sur la cinetique globale du systeme ainsi que sur la microstructure des couches. Elle montre en particulier: -l'action preponderante de la reduction du chlorure de bore par l'hydrogene sur le processus d'ensemble du depot; -l'identification du diborure de zirconium(zrb#2) comme seul compose present dans les solides deposes; -l'existence de differentes orientations preferentielles. Des essais de comportement thermique des depots de diborure de zirconium soumis a des flux radiatifs intenses a l'aide d'un concentrateur solaire montre, comparativement a des couches de nitrure de silicium (si#3n#4), une bonne tenue au choc thermique, un niveau superieur d'adherence sur le substrat, mais une moins bonne resistance a l'oxydation