Contribution à l'étude des revêtements d'alumine par dépôt chimique en phase gazeuse
Institution:
Montpellier 2Disciplines:
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Abstract FR:
Des depots d'alumine pure et contenant une quantite variable de fer ont ete elabores par depot chimique en phase gazeuse sous pression reduite a partir de deux melanges gazeux et dans le cas de dopage au fer a partir d'un systeme plus complexe. Les conditions de depot ont ete choisies a partir des resultats de l'etude thermodynamique des deux premiers systemes gazeux. Dans le cas de revetements d'alumine pure, l'influence de la temperature a tout particulierement retenu notre attention. Un parallele entre la croissance cristalline theorique et les differentes morphologies obtenues a mis en evidence l'importance de l'adsorption des molecules du type hcl. L'adherence des couches d'alumine a ete amelioree en intercalant une couche de nitrure d'aluminium. Par le biais d'une analyse de l'alumine dopee par spectroscopie mossbauer et par microscopie electronique a transmission, trois phenomenes ont pu etre observes: la multiplicite des etats d'oxydation du fer dans les depots, la presence d'une solution solide ainsi qu'une heterogeneite marquee. Des essais de comportement thermique de nos depots soumis a des flux radiatifs intenses a l'aide d'un concentrateur solaire montre que les depots d'alumine pure presentent des fissurations alors que ceux contenant du fer ont une bonne tenue au choc thermique