Abstract FR:

Les problemes serieux poses par l'utilisation des hydrures dans les techniques d'epitaxie, comme source d'element v (toxicite elevee, stabilite thermique), ont conduit a rechercher de nouvelles sources de substitution. La decomposition thermique du tertiarybutylphosphine (tbp) et du bisphosphinoethane (bpe) est etudiee par spectrometrie de masse. L'utilisation du tbp et du bpe a permis de realiser des couches d'inp presentant une excellente morphologie de surface et une faible concentration d'impuretes comparable a celle obtenue avec la phosphine en epitaxie par jets chimiques