Abstract FR:

Le depot de couches minces par ablation laser est une voie de recherche prometteuse puisque ce procede permet d'obtenir des materiaux tres divers (pour la micro-electronique, le biomedical, la passivation) et notamment ceux qui ne sont obtenus, a ce jour, par aucune autre methode, l'exemple le plus connu etant les supraconducteurs (ybacuo). La technique de depot par ablation laser reactive consiste a focaliser un faisceau laser sur une cible solide, cette interaction conduisant a la formation d'un plasma luminescent. Dans une ambiance gazeuse reactive a faible pression (jusqu'a 1. 3 10#3 pa), ce plasma transporte sur quelques centimetres les especes evaporees de la cible vers un substrat ou se depose un compose forme par reaction chimique entre la vapeur issue de la cible et le gaz residuel. La caracterisation des plasmas produits par ablation laser a ete effectuee afin de mettre en evidence les processus intervenant en phase gazeuse dans l'elaboration de couches minces par ablation laser reactive. L'imagerie rapide a l'aide d'une camera iccd a permis de caracteriser la propagation du plasma vers le substrat. L'observation selective des differentes especes excitees ainsi que leur evolution spatio-temporelle a ete effectuee par spectroscopie d'emission resolue dans le temps et dans l'espace. Le choix s'est porte sur l'ablation laser d'une cible de graphite dans une ambiance gazeuse azotee (n#2 et nh#3) pour le depot de couches minces de nitrure de carbone c#xn#y. Les differentes especes presentes dans le panache plasma ont ete etudiees, en particulier les especes issues de reactions chimiques entre la vapeur de carbone et le gaz ambiant comme les radicaux cn et ch. Les temperatures rotationnelles et vibrationnelles des differentes especes ont ete determinees, montrant qu'un equilibre collisionnel entre particules lourdes est etabli dans le plasma. Des depots de nitrure de carbone ont ete realises et analyses par reactions nucleaires, et une correlation avec les resultats de caracterisation du plasma a ete effectuee. Dans le but de mettre en evidence le role des especes excitees et ionisees de l'azote sur la composition des films deposes, des experiences mettant en uvre une decharge rf ont ete menees.