Abstract FR:

Ce travail presente une contribution a la conception et a la fabrication d'empilement multicouches a l'echelle nanometrique pour la realisation d'optique a rayons x mous. Les empilements sont realises a l'aide d'un bati ultravide de pulverisation diode rf concu au lep. Des empilements a base de materiaux classiques comme le tungstene, le silicium, le molybdene, ou le carbone ont ete fabriques. De tres bonnes reflectivites ont ete obtenues, notamment avec les multicouches tungstene/carbone et molybdene/silicium. Par diverses methodes d'analyses (ellipsometrie, reflexion de rayons x rasants, profilometrie auger, microscopie electronique), nous avons mis en evidence diverses imperfections structurales: rugosite, interdiffusion, porosite. Dans certains cas, ces defauts de l'empilement reduisent fortement les performances dans la gamme des rayons x mous. Plusieurs methodes ont ete utilisees pour reduire ces defauts et optimiser la reflectivite des miroirs. Nous avons montre, dans le cas des multicouches rhodium/carbure-de-bore, et rhodium/carbone, comment l'insertion d'un materiau supplementaire dans la structure, pouvait limiter la cristallisation des couches, la rugosite et l'interdiffusion. Un refroidissement de l'echantillon en cours de depot, ou l'utilisation d'une cible de graphite conductrice pour deposer le carbone, ont permis de fabriquer des multicouches nickel/carbone de bonne qualite structurale. Des multicouches a base de materiaux nouveaux comme le siliciure de magnesium ont aussi ete fabriquees et donnent des resultats prometteurs. Enfin, un systeme original de pulverisation reactive a permis la realisation de multicouches a base de nitrures et d'oxydes de tres bonne qualite. Les recherches futures porteront sur ce type de materiaux (nitrures, oxydes, carbures), qui promettent des performances accrues, notamment au niveau de la stabilite thermique