thesis
Transfert optique du microscope en éclairage partiellement cohérent : cas des objets minces et épais
Institution:
BesançonDisciplines:
Directors:
Abstract EN:
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Abstract FR:
Mecanisme de formation des images dans le cas d'objets minces de profil rectangulaire et dans le cas d'objets epais. Dans ce second cas, on propose un modele regissant le transfert optique en calculant la propagation de l'intensite mutuelle depuis la source jusqu'au plan image. Application a des mesures dimensionnelles sur des motifs graves sur des circuits integres