Abstract FR:

Nous presentons une application des supraconducteurs a haute temperature critique a la detection d'un rayonnement infrarouge (10 m). Les detecteurs, a base de films minces d'ybacuo deposes sur des substrats de zircone polycristalline stabilisee a 8% mol. D'y203 (epaisseur variant entre 1,3 mm et 80 m), ont ete elabores par deux techniques: (1) la technique ex situ se compose d'un depot par pulverisation cathodique a diode radiofrequence a froid suivi d'un recuit thermique rapide. Il a fallu analyser en detail ce recuit afin de pouvoir l'adapter a tous les types de detecteurs. (2) la technique in situ se compose d'un depot par pulverisation magnetron radiofrequence a chaud suivi d'une oxygenation dans le meme bati. Afin de controler la qualite de films granulaires deposes, nous avons developpe une technique d'analyse de la caracteristique r(t) s'appuyant sur un modele electrique: association en parallele ou en serie de resistances, chacune representative d'une phase (supraconductrice ou non-supraconductrice) constitutive du film. Les detecteurs, tous bolometriques, montrent un comportement en frequence interessant, qui les avantage face aux bolometres traditionnels (pyroelectrique, golay): aux hautes frequences, la sensibilite est toujours inversement proportionnelle a la racine carree de la frequence. Nous avons pu, par un modele electro-thermique, prevoir systematiquement ce comportement. A 10 hz, nous observons un nep de quelques nw hz-1/2 et une detectivite de quelques 107 cm hz -1/2/w