Abstract FR:

L'utilisation industrielle croissante des lasers a excimeres necessite l'amelioration des performances de la source laser ce qui depend de la realisation de decharges stables et homogenes. Nous avons donc etudie theoriquement la stabilite de decharge dans un laser a excimeres et mis ainsi en evidence l'importance de l'emissivite de la cathode sur la qualite de la decharge ce qui a justifie les etudes sur le materiau et la rugosite de l'electrode. L'ensemble des etudes theoriques et experimentales (monocoup, frequence, 10-100 tirs) realisees avec trois cathodes en aluminium, cuivre et laiton a montre l'importance, d'une part du coefficient d'emission secondaire pour une production electronique efficace a la cathode et, d'autre part des proprietes thermodynamiques pour la regulation de la temperature a sa surface. La cathode en aluminium a ainsi permis d'obtenir les meilleures performances laser en monocoup grace a son coefficient d'emission secondaire superieur. Par contre, en frequence, l'influence des proprietes thermophysiques du materiau devient preponderante. Le cuivre, qui limite et evacue efficacement les gradients thermiques, est alors le mieux adapte a un fonctionnement en frequence. L'etude de l'influence de la rugosite de la cathode sur la qualite de la decharge a montre qu'une cathode preparee avec une rugosite grossiere permet d'empecher la formation des arcs lors du processus de decharge et, par la suite, d'obtenir les resultats les plus stables en monocoup et en frequence. Cependant, les performances les plus elevees sont obtenues avec l'electrode la mieux polie, cet etat de surface permettant de suffisamment retarder l'apparition des arcs et ainsi de ne pas perturber la decharge en cours. L'ensemble des travaux realises a donc permis de comprendre l'influence du materiau et de la rugosite de la cathode sur la stabilite de la decharge et de definir un couple materiau-rugosite optimal pour une utilisation en frequence et sur de longues series de tirs.