Abstract FR:

L'objectif de ce travail de these est de produire des nanoagregats par dissolution sous faisceau d'un film metallique enterre dans une matrice dielectrique. L'observation par microscopie electronique en transmission de l'evolution des echantillons lors de l'irradiation a revele une succession de processus complexes. Deux etapes principales ont ete mises en evidence : i) un demouillage du film metallique sous irradiation et la formation de grains isoles ; ii) la dissolution des atomes des grains et la formation de precipites metalliques. L'analyse de l'evolution morphologique des grains a montre qu'ils s'allongent dans la direction du faisceau d'ions. Cette elongation a ete interpretee en terme de fluage nabarro du a une contrainte de cisaillement (normale a la direction du faisceau) creee dans la silice lors de l'irradiation. Comme la technique rbs s'adapte mal a l'analyse d'un systeme granulaire, nous avons developpe un modele analytique pour interpreter les resultats des cinetiques de melange ionique. Le phenomene de la precipitation sous irradiation a egalement ete etudie. La mise en evidence de l'inversion, sous certaines conditions d'irradiation, de la loi de gibbs-thomson (murissement d'ostwald inverse) a ete interpretee sur la base d'un modele analytique propose par heinig. Nos resultats experimentaux ont ete compares aux previsions du modele de heinig en ayant recours a des simulations numeriques a l'aide du code de calcul k3dlmc. Ce travail constitue une premiere etape dans la comprehension de phenomenes aussi complexes que l'evolution de systemes non-miscibles sous irradiation.