Abstract FR:

Une installation plasma haute frequence est etudiee. Un modele analytique du generateur est couple a une formulation en tension de modelisation du plasma. L'equation electromagnetique du systeme est resolue dans le plasma par la methode des circuits couples associee a une methode d'integrale de frontiere et une methode de differences finies. Les resultats sont utilises pour calculer la distribution de temperature dans le plasma, par la methode des volumes finis. Le modele calcule les courants et les tensions dans les differentes parties du generateur, l'impedance equivalente de l'applicateur, ainsi que les distributions de temperature et de champ dans le plasma. Un algorithme hierarchique est introduit pour orchestrer la resolution des differents sous-systemes. Des mesures locales et globales sont effectuees sur notre installation pour valider le programme de couplage. L'impedance du plasma est obtenue par des mesures de hautes tensions et de courants (jusqu'a 8 kv et 165 a a 5 mhz) associees a des mesures calorimetriques sur l'installation. Des mesures de champ magnetique sont effectuees dans le plasma par des sondes refroidies par eau. La temperature du plasma est mesuree par sonde enthalpique. Une mesure de temperature plasma utilisant un simple tube de quartz refroidi par eau est developpee pour les plasma a faible vitesse. La puissance totale volumique rayonnee par le plasma d'argon est mesuree grace a un detecteur thermique. Le rendement theorique de l'installation est calcule la validation du modele est effectuee pour onze points de fonctionnement de l'installation et deux applicateurs : quartz ou cage froide.