Abstract FR:

L'interprétation des spectres ToF-SIMS requiert une expérience et une expertise confirmées et nécessite un temps d'exploitation important. Les méthodes classiques d'interprétation des spectres ToF-SIMS se focalisent sur quelques ions spécifiques considérés comme étant physiquement significatifs. Ceci génère une importante perte de l'information contenue dans les données ToF-SIMS. Par contraste, les méthodes multivariables prennent en compte la totalité des volumineux spectres de masse, corrèlent tous les ions et extraient exhaustivement l'information spectrale. Afin de démontrer l'intérêt de ces méthodes, l'analyse en composantes principales et la régression sur composantes principales ont été appliquées aux trois modes d'analyse ToF-SIMS : les spectres de surface, le profil en profondeur et l'imagerie de surface. Au cours de ce travail de recherche, le logiciel MULTI-ION SIMS®, spécialement dédié à l'analyse multivariable de données ToF-SIMS, a été développé.