Abstract FR:

Cette etude sur la diffusion de l'azote dans le nitrure de titane a ete realisee a partir de la determination directe de profils de concentration. Le nitrure de titane est soit monocristallin de composition tin#0#,#8#2, soit polycristallin de composition tin#0#,#9#4. Le traceur est introduit par deux methodes differentes: la methode d'implantation ionique et la methode d'echange isotopique gaz-solide dans un domaine de temperature situe entre 700#oc et 1800#oc. Les profils de concentration d'azote 15 sont mesures a l'aide de l'analyseur ionique (sims). Par cette etude, nous avons determine des coefficients de diffusion de l'azote et des energies d'activation de 4,5 ev/at pour les polycristaux et 2,1 ev/at pour les monocristaux. Par la methode d'implantation ionique, nous avons obtenu une enthalpie de formation de l'ordre de 0,6 ev/at. Par la methode d'echange gaz-solide, nous avons calcule des coefficients de diffusion aux joints de grains. A basse temperature (t<900#oc pour les monocristaux et t<1400#oc pour les polycristaux), la diffusion est gouvernee par un regime extrinseque (impuretes)