Abstract FR:

La technologie micro-électronique permet d'obtenir des microcapteurs chimiques de type ISFET. L'électrode métallique d'un MOSFET est remplacée par une électrode de référence, un électrolyte et une couche sensible. Ces capteurs étaient présentés comme ayant des avantages par rapport aux électrodes classiques. Hélas, des problèmes de fiabilité sont apparus. Nous avons cherché à améliorer la couche sensible de l'ISFET: d'une part, en développant la technique de greffage de celle-ci sur l'isolant (détection de l'argent, du calcium ou de l'urée); d'autre part, en analysant l'interface isolant modifie/électrolyte (méthodes électrochimiques et optoélectrochimiques); enfin, en développant des modèles pour comprendre les phénomènes interfaciaux. Puis, un système de mesure différentielle, associant un ISFET à un ISFET de référence, a été étudié. Cette technique limite les effets des interférences et autorise le remplacement de l'électrode de référence par un métal miniaturisable. Jusqu'à présent, ces couches étaient greffées sur un isolant silice. Mais l'instabilité de ce diélectrique en milieux aqueux a conduit à tester un nouveau support pour nos couches sensibles: le nitrure de silicium oxyde.