Abstract FR:

Cette these presente l'etude cinetique d'une decharge en courant continu (dc) et d'une post-decharge impulsionnelle dans un melange n 2 xch 4 (x = 0,5-2%) a basse pression (1 torr) et faible courant (i = 0,6-50 ma). Les concentrations absolues de ch 4 et h 2 ainsi que les concentrations relatives des etats n 2(b 3 g) et n 2-c 3 n) sont mesurees dans la decharge dc respectivement par spectrometrie de masse et par spectroscopie optique d'emission. Les resultats experimentaux sont interpretes a partir d'un modele cinetique couplant les solutions stationnaires de l'equation de boltzmann au systeme d'equations de bilan des especes neutres et ioniques crees dans la decharge et calculant de maniere auto-consistante le champ electrique de maintien du plasma. Les fluorescences des etats n 2(b 3 g), n 2(c 3 n) et cn(b 2 +) sont observees en post-decharge par spectroscopie optique resolue dans le temps. Les resultats experimentaux sont interpretes a l'aide d'un modele cinetique non stationnaire qui decrit la cinetique des especes lourdes pendant l'impulsion, ainsi que leur relaxation en post-decharge.