Abstract FR:

Ce document presente l'etude de la realisation d'un reacteur a plasma multipolaire micro-onde a applique au depot de carbone amorphe hydrogene. Le comportement chimique des gaz est discute en termes de concentration en hydrogene monoatomique. Deux phenomenes expliquent la presence de cette espece chimique. D'abord la production par le biais des reactions ion-molecule; mais aussi la recombinaison de l'hydrogene monoatomique sur les parois. Cette description est bien supportee par une approche theorique simple, mais aussi par les cinetiques de depot et les mesures de spectrometrie de masse. Pour expliquer la synergie entre l'hydrogene monoatomique et le bombardement ionique a froid, un modele de gravure par defauts induits est presente. Outre la comprehension des mecanismes de surface, des mesures optiques par reflexion permettent d'estimer les constantes optiques du film. Une interpretation de ces mesures, basee sur la physique du solide des semi-conducteurs amorphes, montre que le bombardement ionique induit un desordre local qui est croissant avec l'energie des ions