Abstract FR:

La microscopie photothermique de photoreflectance est une methode largement utilisee pour la mesure des proprietes thermiques des materiaux. Au cours de ce travail de these, nous nous sommes en revanche interesses au comportement thermique de composants en fonctionnement. En effet, il s'agit de mettre en oeuvre un microscope photothermique grace auquel on peut realiser des images thermiques de composants electroniques travaillant a haute frequence, et ce en un temps relativement court, de l'ordre de quelques minutes au plus. Pour cela, on utilise une camera ccd visible et une detection synchrone multiplexee ainsi qu'une methode d'heterodynage : les frequences du signal thermique et de modulation de la diode electro-luminescente qui illumine le composant sont proches et on analyse, par l'intermediaire de la camera visible ccd, le terme a la frequence de battement, c'est-a-dire a la difference des deux frequences proches. En effet, le signal reflechi a la surface du composant possede une composante a la frequence de battement dont l'amplitude, apres normalisation par le terme continu, est directement proportionnelle a la variation de reflectivite et donc a la variation de temperature a la surface du composant. Les performances de la methode ont ete evaluees et sont presentees dans ce travail. D'autre part, cette methode a ete testee sur des resistances de silicium polycristallin ; les images de phase et d'amplitude obtenues sont presentees. Des estimations de valeurs de variations de temperature sont aussi donnees ainsi qu'une comparaison avec les resultats obtenus par un montage heterodyne monodetecteur. En outre, l'influence de divers parametres tels que la longueur d'onde d'eclairement ou la frequence d'excitation thermique a ete etudiee. Enfin, une modelisation du signal thermique cree dans des resistances par excitation electrique periodique est proposee et comparee aux resultats experimentaux.