Realisation de couches minces de ceramiques ferroelectriques
Institution:
Paris 6Disciplines:
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Les couches minces de ceramiques (perovskites) ferroelectriques (pzt: titano-zirconate de plomb) sont developpees pour des applications de memoires non-volatiles, de capteurs pyroelectriques et piezoelectriques. Les couches minces de ceramiques ont ete realisees en utilisant des solutions d'oxydes (sol-gel). La technique de depot employee est la centrifugation (spin-coating). La structure des couches obtenues a ete caracterisee par diffraction des rayons x. Les proprietes dielectriques et ferroelectriques ont ete mises en evidence par des mesures de conductivite, de capacite et de cycle d'hysteresis ferroelectrique. Des differences de reactivite entre les precurseurs employes (titane et zirconium) ont ete observees par diffusion de la lumiere, lors de la synthese des solutions. L'etude de la structure cristallographique des couches a permis de montrer que l'obtention de la phase perovskite est facilitee lorsque la concentration en titane augmente. Les mesures electriques ont permis de retrouver sur les couches minces, les differences de proprietes connues sur le pzt massif avec un rapport titane/zirconium variant