Abstract FR:

Cette étude est axée sur la gravure de l'aluminium réalisée avec l'équipement TCP9600 de l'équipementier Américain LAM Research. Ce travail a pour but de diminuer la contamination afin d'augmenter le rendement par puce. La gravure aluminium étant une étape répétée plusieurs fois durant le procédé de fabrication d'un CI, il est très intéressant d'agir sur les sources de contamination de cette étape en priorité. L'expérience acquise en gravure aluminium peut ensuite se transposer à d'autres types de gravures (polysilicium. . . ) ou à d'autres procédés ( dépôts. . . ) avec quelques adaptations particulières, mais sans modification du principe. L'étude traite en premier lieu de la contamination engendrée par les deux sas de l'équipemen. T et présente les solutions développées pour éviter cette pollution. La partie principale de la gravure a lieu dans le réacteur. L'étude effectuée à l'aide d'un logiciel de simulation des écoulements FLUENT, porte ensuite sur les origines de la contamination des substrats dans la chambre de l'équipement de gravure et montre l'intérêt potentiel de supprimer la vanne de régulation permettant le contrôle de pression dans le réacteur. Le nouveau principe de régulation de pression repose alors sur l'utilisation de l'asservissement de la vitesse du moteur de la pompe primaire pour contrôler la pression dans le réacteur. L'analyse du procédé de régulation est effectuée en boucle ouverte puis en boucle fermée sur dispositif expérimental et les différentes lois de commande élaborées pour optimiser la régulation sont également développées. L'étude du procédé sur équipement réel mentionne d'abord les contraintes liées à l'installation du système sur l'équipement, puis identifie les nouvelles perturbations engendrées pcÎr le dispositif réel. Les nouvelles solutions développées améliorant le contrôle du procédé en gravure sont détaillées, en tenant compte des observations en régulation faites sur les produits gravés. Les méthodes de caractérisation et de mesure de la qualité de la gravure permettent d'évaluer les résultats de procédé obtenus en gravure et en contamination.