Abstract FR:

Ce travail traite de l'utilisation de capteurs chimiques à base d'InP pour détecter NO2 et O3. Une revue des techniques courantes utilisées pour la surveillance des polluants de l'air est d'abord présentée et leurs performances sont comparées avec celles obtenues pour des capteurs de gaz à semi-conducteurs. Les propriétés électriques des contacts Schottky sont ensuite décrites ainsi que leur utilisation comme capteurs de gaz. Une nouvelle application des pseudo-jonctions Schottky (diodes Schottky aux caractéristiques électriques améliorées) est finalement évoquée, conduisant à des performances de détection particulières (sensibilité élevée vis à vis d'espèces oxydantes/réductrices). Les résultats expérimentaux obtenus sur des capteurs de gaz de type résistif ou diode Schottky sont présentes, avec comme but ultime des applications de surveillance de la qualité de l'air en extérieur. Les deux dispositifs présentent des propriétés capteur similaires, conséquences de la nature de l'élément sensible (une fine couche d'InP de type n), et sont sensibles aux gaz fortement oxydants tels que le dioxyde d'azote ou l'ozone. L'influence de différents paramètres (température de travail, espèces interférentes, vieillissement) a été soigneusement analysée. Les conclusions tirées de cette étude montrent que les deux dispositifs peuvent être utilisés lors de campagnes de mesure de la qualité de l'air pour mesurer le niveau global des concentrations en O3 et NO2. La courbe de calibration déduite d'une modélisation simple des interactions NO2/InP (n) peut être exploitée pour discriminer l'influence de chaque gaz sur la résistance du capteur. D'autre part, les pseudo-Schottky réalisées sur les substrats d' InP de type p ont révélé des propriétés de détection intéressantes, plus particulièrement au niveau de la sensibilité, mais souffrent de problèmes de vieillissement limitant leurs performances à long terme.