Abstract FR:

En vue de la realisation de la resistance thermique d'un fluxmetre, des couches minces de zro#2-7% masse y#2o#3 sont elaborees par pulverisation cathodique. Ce procede de depot a implique l'etude des caracteristiques microstructurales en fonction des parametres d'elaboration, afin d'obtenir une faible conductivite thermique, une resistivite electrique elevee et une bonne tenue mecanique. La temperature du substrat et la polarisation en cours de depot ont beaucoup d'influence sur la morphologie, la microstructure et la structure cristalline-phases, parametres, microcontraintes, texture et contraintes