Abstract FR:

Une etude experimentale de la gravure des resines novolaques dans les plamas multipolaires micro-onde a base d'oxygene et de sf#6 a ete entreprise. La phase gazeuse d'un plasma sf#6 a ete caracterisee par actinometrie, methode qui permet des mesures relatives de la concentration de fluor atomique dans le plasma. Des mesures de la concentration en oxygene atomique ont ete effectuees simultanement par absorption optique et actinometrie. Elles mettent clairement en evidence que l'actinometrie n'est pas adaptee pour rendre compte de la concentration en oxygene atomique dans les plasmas a base d'oxygene. L'etude parametrique de la gravure de la resine dans un plasma de sf#6 montre que la vitesse de gravure de la novolaque n'est proportionnelle ni a la concentration de fluor atomique dans le reacteur, ni a la densite de courant d'ions qui bombardent l'echantillon. La modelisation simple proposee, qui fait appel a une adsorption de type monocouche, rend compte de ces resultats experimentaux. Les hypotheses de la modelisation sont confirmees par des analyses de surface par xps. En plus des effets mecaniques, le bombardement ionique est responsable d'une elevation de temperature du substrat qui provoque des modifications importantes des proprietes viscoelastiques du polymere. En particulier, au-dela de la temperature de transition vitreuse du polymere, l'autodiffusion des chaines du polymere est mise en evidence experimentalement. Elle conduit, selon la nature chimique du plasma auquel le polymere est expose, soit a une acceleration de la vitesse de gravure, soit a sa degradation en volume