Abstract FR:

Caracteriser les semi-conducteurs necessite le developpement de micro-sondes dont la resolution spatiale est inferieure au micron. Dans cette etude, la focalisation submicronique des rayons x a ete rendue possible grace a la mise au point de capillaires. Une modelisation par la loi de poisson de ces capillaires et leur fabrication pilotee par ordinateur sont presentes. Le semi-conducteur czt a ete ainsi etudie par cette technique pour caracteriser la repartition du zn a la surface du composant, repartition obeissant a la loi de fick. La cristallinite d'une jonction si-cu a egalement ete etudiee. Enfin le developpement d'un tube de rayon x a foyer ponctuel et a balayage pour une matrice de capillaires adapte a un appareil xps est propose pour l'analyse non destructive des micro-plaquettes en ligne de fabrication.