thesis

Developpement des methodes de spectroscopie capacitive et applications a la caracterisation de defauts d'interface et de volume dans les semiconducteurs

Defense date:

Jan. 1, 1987

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Institution:

Caen

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Abstract EN:

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Abstract FR:

Conditions d'utilisation de spectrometrie transitoire de niveau profond classique et optique. Cas des etats d'interface isolant-semiconducteur, effet de la densite. Etude des structures mis et mos. Dans le cas de defauts d'irradiaiton par les ions lourds de forte energie dans le silicium, trois pieges a porteurs majoritaires et six pieges a porteurs minoritaires ont ete identifies par spectrometrie transitoire de niveau profond normale et optique