thesis
Etude theorique et experimentale de l'emission de rayonnement x par les plasmas crees par laser : application a la lithographie x
Institution:
Palaiseau, Ecole polytechniqueDisciplines:
Directors:
Abstract EN:
Pas de résumé disponible.
Abstract FR:
L'etude experimentale a necessite la mise au point de deux diagnostics: un multicanal x et un spectrometre a reseau a transmission. L'etude theorique a conduit a utiliser deux codes numeriques. Xsource donne avec une bonne approximation et avec un temps de calcul relativement court le spectre d'emission x quel que soit le numero atomique de la cible. X-rad, code hydrodynamique monodimensionnel plus complexe, tenant compte de la physique atomique et du transport radiatif de facon detaillee permet de determiner l'evolution des parametres caracteristiques du plasma