Abstract FR:

Ce travail ouvre une nouvelle voie dans la conception des micro-bolometres, en exploitant les proprietes de conduction thermique des interfaces pour reduire la conductance thermique dans les detecteurs, qui conditionne fortement leur sensibilite. Pour cela, des superreseaux a base des composes yba 2cu 3o 7 - et srtio 3 ont ete synthetises par ablation laser pulse, entre le film absorbant du detecteur et le substrat. Ces materiaux sont caracterises structuralement et physiquement, puis utilises pour la fabrication de micro-bolometres. La conductance thermique de ces derniers est mesuree et comparee a celle de micro-bolometres sans superreseau. Nous montrons que l'introduction de vingt interfaces supplementaires dans la structure bolometrique induit une diminution d'un facteur six de sa conductance thermique. La detectivite specifique calculee a partir de ces mesures est d'environ 2. 310 8 cm. Hz/w. Ces valeurs ne sont que le resultat des premiers tests utilisant le decouplage thermique realise par l'introduction des super-reseaux dans les bolometres, ce qui laisse presager de potentielles ameliorations de la sensibilite de nos detecteurs, par optimisation du couplage du rayonnement, notamment a l'aide d'antennes metalliques.