Abstract FR:

Le but de cette etude est l'obtention d'un element resistif en couches minces pour une jauge de deformation utilisable a haute temperature (cinq cent - neuf cent degre celcius). Il s'est avere que les proprietes electriques a haute temperature de l'alliage massif palladium-chrome a treize pourcent en masse de chrome, etaient satisfaisantes pour realiser un tel capteur. Les caracteristiques electriques de couches minces de palladium-chrome, obtenues par pulverisation cathodique, ont ete determinees. Il a ete montre que ces caracteristiques, a haute temperature, dependent de l'etat d'oxydation de l'alliage. Une etude structurale d'un grand nombre d'echantillons a etabli que les proprietes electriques de l'alliage a haute temperature sont reproductibles si sa composition chimique reste stable. Cette condition n'est realisee que si l'alliage est recouvert d'un depot d'oxyde. La nature de ce depot joue un role important sur les proprietes. Des performances satisfaisantes ont ete obtenues pour une couche mince de palladium-chrome, d'environ un micron d'epaisseur, recouverte d'un melange d'alumine a six pourcent en masse de zircone