thesis

Modelisation mono- et bidimensionnelle des phenomenes electrostatiques dans le silicium polycristallin petits grains : application a l'effet de champ dans une structure mos

Defense date:

Jan. 1, 1988

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Institution:

Rennes 1

Disciplines:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

L'objet de cette these est l'etude des phenomenes electrostatiques dans les couches de silicium polycristallin au moyen de la resolution numerique de l'equation de poisson a une et deux dimensions. A deux dimensions, on etudie comment un joint de grain parallele a une structure mos polycristalline (mosp) peut bloquer les variations de potentiel induites par la tension de grille. On etudie ensuite les parametres de la simulation (taille des grains, dopage, pieges a l'interface, etc. ) sur les variations d'une capacite mosp en vue de simuler la caracteristique courant tension d'une structure reelle