Contrôle optique d'empilements multidiélectriques : optimisation des performances par l'utilisation conjointe de méthodes expériementales et numériques
Institution:
Aix-Marseille 3Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
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Abstract FR:
Les filtres spectraux obtenus par depot de couches minces multidielectriques connaissent aujourd'hui un developpement important, en grande partie en raison de leur utilisation dans les nouvelles techniques de telecommunications optiques. La plupart des problemes de filtrage peuvent etre resolus par l'emploi d'empilements composes de couches dont les epaisseurs optiques sont toutes multiples d'une meme fraction de longueur d'onde. Les specifications exigees par les utilisateurs devenant de plus en plus severes, on a ete amene a envisager des methodes de controle des epaisseurs in situ, de plus en plus precises et parfaitement fiables. Dans ce travail, on montre comment pour atteindre les performances optimales des empilements, on a developpe un nouveau type d'appareillage permettant d'assurer un controle optique direct des epaisseurs. La mise au point a ete en grande partie assuree grace a l'emploi de techniques numeriques et simulation. On montre enfin que l'on peut atteindre, pour divers types d'empilements de realisation delicate, des performances extremement proches de celles prevues par le calcu