Abstract FR:

Le memoire est consacre a l'aspect macroscopique theorique et experimental de la dissolution anisotrope des cristaux, un processus utilise pour la fabrication de micro-dispositifs mecaniques. La premiere partie traite de la modelisation tensorielle de la dissolution anisotrope; elle presente les calculs relatifs aux cristaux du systeme cubique et les possibilites de prediction des formes usinees des cristaux a partir de l'equation de la surface representative de la lenteur de dissolution. Les mesures experimentales font l'objet de la deuxieme partie. Les etudes menees avec deux solvants (koh et edp) sur diverses coupes a simple rotation du cristal de silicium couvrent les mesures de taux de dissolution, d'etats geometriques de surface et de non-circularite. Les resultats experimentaux sont analyses pour determiner les constantes de dissolution et obtenir des representations tri-dimensionnelles des surfaces de la lenteur de dissolution pour les solvants edp et koh. Les formes usinees theoriques obtenues par simulations graphiques sont systematiquement confrontees aux formes experimentales. Des correlations entre formes dissoutes et caracteres geometriques des surfaces de la lenteur sont etablies et permettent de discuter la validite des representations tri-dimensionnelles des surfaces de la lenteur. Il est ainsi mis en evidence que l'interet du modele tensoriel de la dissolution anisotrope reside en une prediction rapide de toutes les caracteristiques geometriques des micro-dispositifs mecaniques. Ce modele apparait donc comme un outil performant pour la conception des corps d'epreuve des capteurs integres sur silicium