Abstract FR:

Les methodes optiques de mesure in situ, diffusion raman anti-stokes coherente (drasc) et fluorescence induite par laser (fil) ont ete utilisees pour caracteriser la phase gazeuse au cours du depot de carbure de silicium (sic) a partir du melange gazeux, methyltrichlorosilane ch#3sicl#3 (mts)-hydrogene, en ecoulement a faible pression. Les experiences d'analyse de la phase gazeuse ont ete conduites dans deux reacteurs de depot chimique en phase vapeur: l'un etant a parois chaudes et l'autre a parois froides. Dans le reacteur a parois chaudes, des profils de temperature et des mesures de concentration des especes stables, methane (ch#4), chlorure d'hydrogene (hcl) et methyltrichlorosilane ont ete obtenus par drasc. Sur la base de ces resultats, un modele de cinetique chimique a ete mis au point pour la decomposition du methylchlorosilane conduisant au depot de carbure de silicium. Dans le reacteur a parois froides, en plus des concentrations de ch#4, hcl et ch#3sicl#3, des profils de concentration relative des especes instables, dichlorosilylene (sicl#2) et chlorosilylidine (sicl) ont ete realisees par fil. La simulation des spectres d'excitation de la fluorescence de ces deux especes, detectees pour la premiere fois dans un reacteur de depot, a ete effectuee. Les resultats montrent le role important des phenomenes de transport