Abstract FR:

L'elaboration de materiaux de composition et de structure definies fait souvent appel a des voies de synthese a partir de precurseurs gazeux. C'est le cas pour le nitrure de silicium si#3n#4, utilise comme couche de passivation destinee a proteger les surfaces sensibles contre les agressions exterieures, ou encore le silicium dope au phosphore et ses proprietes semi-conductrices. Aussi, les reactions ion/molecule qui ont lieu apres ionisation des melanges gazeux constitues de silane et d'ammoniac, d'une part, et de silane et de phosphine, d'autre part, ont ete etudiees au moyen de spectrometres de masse a piegeage d'ions : un spectrometre a resonance cyclotron des ions a transformee de fourier (ft-icr), et un ion trap mass spectrometer (itms). Les informations extraites des donnees spectrales, qui concernent a la fois l'aspect mecanistique et l'aspect cinetique, permettent d'identifier les ions responsables de la formation et de la propagation d'especes contenant des liaisons si-n, d'une part, et si-p, d'autre part. Un plan d'experiences a ete elabore en vue d'identifier methodiquement les parametres susceptibles d'influer sur le resultat d'une mesure cinetique en phase gazeuse. Cette etude a montre l'utilite d'une approche statistique des conditions de mesure, a opposer a l'approche habituelle qui fait intervenir plus d'a priori de la part de l'experimentateur.